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近年来国内在半导体设备方面的进步也是飞快的,比如说中微半导体早已经实现国产5nm的蚀刻机,拓荆聚焦薄膜沉积设备等等都是如此,当各个造芯所需要的设备逐渐攻破的时候,大家又一次将目光放在了光刻机身上,毕竟这才是重中...
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